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高周波電源オート・マッチングボックス他

高周波電源用アクセサリ

特徴

  • 本センサは13.56MHzのマッチングボックスと負荷の間に挿入し、高周波電流、電圧等のRFパラメータを測定します。
  • 測定値は表示部のデジタルパネルメータにてリアルタイムに表示され、同時に背面のDsubコネクタよりアナログモニタが出力されます。
  • 本センサにより測定された高周波電圧、電流及び位相より負荷インピーダンスを 計算により求めることができます。

主な仕様

測定パラメータ高周波電圧(VRF):0~2kV rms
高周波電流(IRF):0~60A rms
セルフ直流電圧 (VDC) : 0~-5kV
位相(φ):-180~+180deg
使用電源AC100V±10% 0.5A 50/60Hz
使用電源検出部1台、表示部1台、接続ケーブル1式
外形寸法検出部 W:約132mm D:約97mm H:約120mm
表示部 W:約134mm D:約230mm H:約100mm

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