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高周波電源オート・マッチングボックス他
特徴
- ●本センサは13.56MHzのマッチングボックスと負荷の間に挿入し、高周波電流、電圧等のRFパラメータを測定します。
- ●測定値は表示部のデジタルパネルメータにてリアルタイムに表示され、同時に背面のDsubコネクタよりアナログモニタが出力されます。
- ●本センサにより測定された高周波電圧、電流及び位相より負荷インピーダンスを 計算により求めることができます。
主な仕様
| 測定パラメータ | 高周波電圧（VRF）:0～2kV rms 高周波電流（IRF）:0～60A rms セルフ直流電圧 （VDC） : 0～-5kV 位相（φ）:-180～+180deg |
| 使用電源 | AC100V±10% 0.5A 50／60Hz |
| 使用電源 | 検出部1台、表示部1台、接続ケーブル1式 |
| 外形寸法 | 検出部 W：約132mm D：約97mm H：約120mm 表示部 W：約134mm D：約230mm H：約100mm |
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