13.56MHz高周波電源｜製品一覧・カタログ｜日本高周波株式会社

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高周波電源オート・マッチングボックス他

13.56MHz高周波電源

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半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

主な仕様

■ハーフラック用（50W～3kW）

形式		HFS-013-0005C	HFS-013-003C	HFS-013-005C	HFS-013-010C	HFS-013-020C	HFS-013-030C
発振周波数		13.56MHz ±0.05%
最大定格出力		50W	300W	500W	1kW	2kW	3kW
出力インピーダンス		50Ω
出力コネクタ／ケーブル		BNC		N型／8D-2V		HN型／RG-14A／U
出力電力安定度		電源電圧の±1 0 %変動に対して最大パワーの±1 %以内（但し周囲温度2 5℃、ダミーロード使用時）
耐反射電力		50W	50W	100W	200W	400W	500W
高調波		基本波に対して-30dB以下	基本波に対して-40dB以下
出力リップル		1%以下
所要電力50／60H z		AC100V 1φ, 120VA	AC100V 1φ, 600VA	AC200V 1φ,1.0kVA	AC200V 3φ, 2.0kVA	AC200V 3φ, 4.0kVA	AC200V 3φ, 6.0kVA
冷却方式		強制空冷				強制空冷及び水冷
所要冷却水量		－				4L／min以上	5L／min以上
冷却水温度／圧力／水質		－				10～30℃、0.5MPa以下、3～5kΩ-ｃｍ
周囲環境温度／湿度		10～30℃／30～80% 但し結露なきこと
電源保護機能		サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射（Pr）リミッタ、温度検出
電源本体寸法	幅	240mm
	奥行	400mm	400mm	450mm	450mm	550mm	650mm
	高さ	99mm	99mm	99mm	177mm	199mm	249mm
質量（電源本体のみ）		約5ｋｇ	約5ｋｇ	約7kg	約12kg	約25kg	約27kg

■標準ラック用（500W～5kW）

形式		HFS-013-005A	HFS-013-010W	HFS-013-020W	HFS-013-030W	HFS-013-050W
発振周波数		13.56MHz ±0.05%
最大定格出力		500W	1kW	2kW	3kW	5kW
出力インピーダンス		50Ω
出力コネクタ／ケーブル		N型/8D-2V	HN型/RG-14A/U			LC型/RG-18/U
出力電力安定度		電源電圧の±10%変動に対して最大パワーの±1%以内（但し周囲温度25℃、ダミーロード使用時）
耐反射電力		100W	200W	400W	500W	700W
高調波		基本波に対して-40dB以下
出力リップル		1%以下
所要電力 A C 2 0 0 V 5 0 ／ 6 0 H z		1φ,1.2kVA	3φ, 2.5kVA	3φ, 4.5kVA	3φ, 6.5kVA	3φ, 10kVA
冷却方式		強制空冷	強制空冷及び水冷
所要冷却水量		－	3L／min以上	4L／min以上	5L／min以上	5L／min以上7L／min以上
冷却水温度／圧力／水質		－	10～30℃、0.5MPa以下、3～5ｋΩ-ｃｍ
周囲環境温度／湿度		10～30℃／30～80% 但し結露なきこと
電源保護機能		サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射（Pr）リミッタ、温度検
電源本体寸法	幅	480mm
	奥行	450mm		550mm		650mm
	高さ	149mm		199mm		449mm
質量（電源本体のみ）		約15kg	約18kg	約30kg	約34kg	約71kg

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