製品一覧・カタログ

高周波電源オート・マッチングボックス他

13.56MHz 自動整合器

自動整合器は、半導体、液晶、太陽電池等を製造するためのプラズマ装置とその高周波電源との間に接続し、負荷変動によりインピーダンスが変動しないように自動整合する装置で、プラズマ装置を安定、かつ効率的に運転するためには不可欠のものです。
本自動整合器は13.56MHz専用で、300Wから5kW までの出力に対応できる機種を取り揃えております。

主な仕様

形式MBA-003MBA-005MBA-010MBA-020MBA-030MBA-050
使用周波数13.56MHz
最大許容出力300W500W1kW2kW3kW5kW
入力インピーダンス50Ω
整合範囲5Ω~35Ω/- j180Ω~-j 10Ω
整合方法自動及ぶ電動リモート
入力コネクタN 型HN 型LC型
冷却方式自然空冷強制空冷及び水冷
所要冷却水流量2L/min以上3L/min以上
圧力0.5MPa以下
水温10 ~ 30℃
水質3 ~ 5kΩ-cm
冷却水冷系接栓PC-3/8PT
(コイル用)
1系統RC-3/8PT(コイル、バリコン用)
可変素子(MATCH)エアーバリコン真空バリコン
(TUNE)エアーバリコン真空バリコン
外形寸法約300mm
奥行約400mm
高さ約200mm
質量約13kg約18kg約20kg

資料請求・お見積り

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。