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高周波電源オート・マッチングボックス他
本装置は、減圧容器内のガスの高周波放電プラズマによる、各種材料の表面処理を行うものです。特に高分子材料の処理等に有効です。
構成
①500W高周波電源 整合器付
②デジタルピラニ真空計
③炉体
④操作パネル
⑤真空ポンプ
※①～④は同一筐体に組み込みとなります。
主な仕様
| 形式 | RPT-3000-05 | |
|---|---|---|
| 高周波出力電力 | 0～500W | |
| 炉体 | 形状 | 横置き前面扉方式 |
| 炉体寸法 | 約φ500mm×500mm | |
| 材質 | アルミ製 | |
| 覗き窓 | 有効径φ100mm | |
| 到達真空度 | 常用1×10-2 torr | |
| ユーテリティー | 電力 | 3相 AC200V 約4.5kVA |
| 冷却水 | 3L／」min 以上 | |
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