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高周波電源オート・マッチングボックス他
ＶＨＦ帯（40.68MHz）高周波電源
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
主な仕様
| 形式 | HFS-40-002 | HFS-40-005 | HFS-40-030 | HFS-40-050 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 発振周波数 | 40.68MHz±0.05％ | ||||
| 最大定格出力 | 200W | 500W | 3kW | 5kW | |
| 出力インピーダンス | 50Ω | ||||
| 出力コネクター | Ｎ型 | HN型 | ＬＣ型 | 同軸管 | |
| 出力ケーブル | 8D-2V | RG-14A／U | RG-17A／U | WX-39D | |
| 出力電力安定度 | 電源電圧変動が±10％の時、最大出力の）±１％以内 （但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時） |
||||
| 耐反射電力 | 40W | 100W | 500W | 700W | |
| 高調波歪 | -40ｄＢ以下（最大出力時） | ||||
| 出力リップル | 1％以下（最大出力時） | ||||
| 所要電力AC200V, 50／60Hz | 1φ、700VA | 1φ、1.5kVA | 3φ、7kVA | 3φ、11kVA | |
| 冷却方式 | 空冷 | 空冷 | 水冷 | 水冷 | |
| 所要冷却水量 | － | － | 6 L／min以上 | 6 L／min以上7 L／min以上 | |
| 冷却水温度／圧力／水質 | 10～30 ℃、0.5MPa以下、3～5 KΩ-cm | ||||
| 周囲環境温度／湿度 | 10～30 ℃、30～80％ 但し結露のないこと | ||||
| 電源保護機能 | サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッター、反射リミッター | ||||
| 操作方式（操作部別パネル） | ローカル及びリモート操作 | ||||
| 電源本体寸法（mm） | 幅 | 480 | |||
| 奥行 | 450 | 450 | 650 | 650 | |
| 高さ | 150 | 200 | 550 | 750 | |
| 電源本体質量（kｇ） | 約20 | 約25 | 約100 | 約130 | |
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