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高周波電源オート・マッチングボックス他

60MHz 高周波電源

オールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

主な仕様

形式HFS-060-003AHFS-060-010WHFS-060-020WHFS-060-
030W-3
HFS-060-050WHFS-060-100W
発振周波数60MHz ±0.05%
最大定格出力250W250W1kW2kW3kW5kW10kW
出力インピーダンス50Ω
出力コネクタN型HN型LS型7/16DIN39D
出力電力安定度電源電圧の±10%変動に対して最大パワーの±1%以内(但し周囲温度25℃、ダミーロード使用時)
耐反射電力50W200W400W600W800W800W
高調波歪基本波に対して-40dB以下
出力リップル1%以下
所要電力
A C 2 0 0 V 5 0/6 0 H z
1φ, 750VA3φ, 3kVA3φ, 4.5kVA3φ,7kVA3φ, 11kVA3φ, 23kVA
冷却方式強制空冷強制空冷及び水冷
所要冷却水量4L/min以上5L/min以上6L/min以上7L/min以上20L/min以上
冷却水温度/圧力/水質10~30℃、0.5MPa以下、3~5kΩ-cm
周囲環境温度/湿度10~30℃、30~80% ただし結露なきこと
電源保護機能サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射(Pr)リミッタ、温度検出
電源本体寸法480mm550mm
奥行400mm550mm550mm650mm900mm
高さ150mm250mm350mm400mm1000mm
質量(電源本体のみ)約20kg約45kg約50kg約90kg約105kg約230kg

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