60MHz自動整合器｜製品一覧・カタログ

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高周波電源オート・マッチングボックス他

60MHz自動整合器

主な仕様

形　　　式		MBA-060-010	MBA-060-020	MBA-060-030	MBA-060-050	MBA-060-100
使用周波数		60MHz
最大許容入力		1kW	2kW	3kW	5kW	10kW
入力インピーダンス		50Ω
整　合　方　法		自動及び電動リモート
入力コネクタ		HN型	LS型	7/16 DIN型	39D同軸管
冷　却　方　式		強制空冷及び水冷
所要冷却水	流量	2L/min以上	3L/min以上		4L/min以上	5L/min以上
	圧力	～0.5MPa
	水温	15～30℃	10～30℃
	水質	3kΩ-cm～5kΩ-cm
冷却水冷系接栓		1系統			2系統
冷却水冷系接栓		3/8インチ×2個			3/8インチ×4個
可変素子	(MATCH)	真空バリコン～250pF	真空バリコン～500pF	真空バリコン～250pF	真空バリコン～300pF	真空バリコン～200pF
	(MATCH)	真空バリコン～250pF	真空バリコン～500pF	真空バリコン～250pF	真空バリコン～300pF	真空バリコン～200pF
	(TUNE)	真空バリコン～250pF	真空バリコン～500pF	真空バリコン～250pF	真空バリコン～300pF	真空バリコン～200pF
	(TUNE)	真空バリコン～250pF	真空バリコン～500pF	真空バリコン～250pF	真空バリコン～300pF	真空バリコン～200pF
外形寸法	幅	約190 mm	約300 mm	約220 mm	約350 mm	約250 mm
	高さ	約350 mm	約200 mm	約350 mm	約220 mm	約350 mm
	奥行き	約400 mm	約420 mm	約400 mm
質　　　量		約20 kg				約22kg

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