高周波電源オート・マッチングボックス他

マイクロプラズマ電源システム

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本装置は、マイクロプラズマを発生させるための高周波及びトーチボックスで構成されています。
高周波電源は出力電力の一部をフィードバックすることで出力安定化をはかっています。
トーチボックスには整合器及びガス性制御機器等が内蔵されています。