マイクロ波電源・自動整合器他

マイクロ波スマートパワーシステムMSPS

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本システムはマグネトロンを極めて高い安定度で発振可能とした2450MHz帯高出力マイクロ波電源です。
2.45GHｚマイクロ波電源はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造装置用電源として不可欠な存在です。　マグネトロンを用いたマイクロ波電源はクライストロンやソリッドステート方式に比較してはるかに安価に高出力電源を構成することが出来ますが、出力や負荷変動により発振周波数が大きく変動する欠点がありました。本システムは、このようなマグネトロンの欠点を解決した画期的なマイクロ波電源で、弊社独自の方式により基準周波数発振器からの周波数に完全同期してマグネトロンを発振させることが可能となったため、発振周波数が極めて安定しています。