マイクロ波電源（915ＭＨｚ）｜製品一覧・カタログ

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本装置は、電磁石型マグネトロンを使用した、915MHz マイクロ波電源です。
最大出力、５kW と30kW のタイプがあり、半導体製造用のプラズマＣＶＤ等、あるいは、工業用加熱装置としてご利用頂けます。

形式		MPS-009	MPSP-009-02	MKN-009-030
周波数		915MHz±10MHz	915MHz ±10MHz	915MHz ±10MHz
定格出力	ＣＷ	500W ～ 5kW	500W～5kW	5kW～30kW
定格出力	パルス	―	500W ～ 5kW peak	―
パルスON 時間		―	1ms ～50ms	―
パルスOFF 時間		―	1ms ～50ms	―
デューティファクター		―	10～80%	―
パルス立上がり時間		―	1μs以下	―
パルス立下がり時間		―	1μs以下	―
出力フランジ		CPR-975F	CPR-975F	―
出力導波管		WR-975	WR-975	WR-975
出力安定度		電源電圧±10%の変動に対して、最大出力値の±1%以下
出力リップル		最大出力値の5% p‒p 以下
所要電力		3φ、AC200V	3φ、AC200V	3φ、AC200V
所要電力		11kVA	11kVA	50kVA
指示計		進行波電力・反射波電力・陽極電流
冷却方式	電源部	強制空冷	強制空冷	強制空冷
冷却方式	発振部	水冷（6 L／min ）	水冷（6 L／min ）	水冷（50 L／min ）
外形寸法（mm）	電源部	480×500×399	480×500×399	570×810×1330
	パルス部	―	480×550×199	―
	収容ラック	―	570×630×1000	―
	発振部	570×810×1250	570×810×1250	1300 ×1875 ×1615
質量（kg）	電源部	約65	約65　※1	約200
	パルス部	―	約50　※2	―
	収容ラック	―	約160（※1　※2収容後）	―
	発振部	約170	約170	約600

※パルス信号は外部から入力して下さい。

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