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ダイヤモンド成膜装置

高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ)により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できます。

特徴

弊社独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。

主な仕様

◆ マイクロ波電源はマグネトロン発振( 連続波、パルス波、高安定スペクトル)
およびソリッドステート発振など、弊社電源ラインナップからお選び頂けます。
◆ 現在お使いの装置の電源アップグレード、その他の改良、
また、試験成膜、受託成膜についてもお気軽にお問合せ下さい。

主な仕様および機能
MW電源2450MHz, 最大出力5kW (日本高周波製)
整合方法4Eチューナによる自動整合 (日本高周波製)
圧力制御自動圧力制御
反応ガスメタン, 水素, 酸素 (増設可能)
形状1500mm (W) × 900mm (D) × 2000mm (H)
成膜範囲直径2インチ
成膜速度20μm/h 工具グレード, 4μm/h 光学グレード

※記載内容は、改良その他により予告無く変更する場合がありますので、予めご了承ください。

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