マイクロ波ダイヤモンド成膜装置

高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ）により、
安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できます。

装置外観

特長

弊社独自のプラズマ制御機能により、
プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。

主な仕様

• ●マイクロ波電源はマグネトロン発振（ 連続波、パルス波、高安定スペクトル）およびソリッドステート発振など、弊社電源ラインナップからお選び頂けます。
• ●現在お使いの装置の電源アップグレード、その他の改良、また、試験成膜、受託成膜についてもお気軽にお問合せ下さい。