3Eマイクロ波自動整合器

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2450MHz帯マイクロ波のプラズマ放電用等のマイクロ波伝送経路においては、負荷変動により負荷インピーダンスが変動してインピーダンスが不整合になると反射波が発生してマイクロ波電力の効率が低下します。　本装置はインピーダンス整合（インピーダンスマッチング）を自動的に処理するための自動整合器です。
制御部も内蔵されて、従来モデルより小型化されています。

特徴

• 整合部は導波管のE面（長辺）に3個の可動短絡器を置いた3 要素チューナ型で、スタブ棒形に比べて耐電力が高く、整合応 答時間も短く、整合範囲もVSWR10までと広く、全位相整合が 可能です。
• 電力検出器からの進行波検波電圧Pfと反射派検波電圧Prを それぞれモニター信号として出力します。
• 制御部は整合器本体内に内蔵されています。 PCを接続して各種制御設定、ポジションメモリの設定、モニ ター、リモート制御が可能で、PC用専用ソフトが付属されます。
• 自然空冷のため水管の引き回しは不要です。

使用例

仕様

1)　周波数範囲　　　　　： 2450±50MHz
2)　定格電力　　　　　    ： 5kW（CW / PULSE）
3)　整合方式　　　　　    ： 3Eチューナ方式
4)　導波管　　　　　　    ： 2GHz偏平導波管(96×27mm)
5)　フランジ　　　　　    ： TBR-2A2相当
6)　負荷整合範囲    　　　： VSWR10以下（全位相）
7)　整合精度　　　　　    ： 残留VSWR1.2以下 typ.
8)　応答速度   　　　　     ： 2秒 typ.
9)　操作方法　　　　　    ： RS-232C通信、アナログI/O、CONTROLLERによる設定・操作
10)　電源入力　    　　  　： DC24V　3A
11)　寸法、質量    　　　  ： W220mm×D130mm×H262mm　　　4.0kG（本体）
12)　付属品　　　　　　  ： PC専用ソフト（windows10対応）、

　　　　　　　　　　　　　24V電源ケーブル、RS-232Cケーブル
13)　オプション    　　　  ： CONTROLLER