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マイクロ波電源・自動整合器他

マイクロ波電源(2450MHz)

本装置はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造に不可欠なマイクロ波電源です。
300Wから5kWまで、高安定、低リップルの電源を取り揃えています。
ご要望により、10kW以上30kWまでの大電力マイクロ波電源も製作いたします。

主な仕様

型式MKN-032MKN-152-3S9MKN-202-3S8MKN-302-3SMKN-502-3S
周波数2450MHz ±30MHz
定格出力50W~300W150W~1.5kW200W~2kW500W~3kW500W~5kW
出力フランジBRJ-3相当BRJ-2相当
出力安定度電源電圧±10%の変動に対して、最大出力の±1%以下
出力リップル最大出力値の5%p-p以下
所要電力1φ AC200V3φ AC200V
1.3kVA3.1kVA5kVA7kVA11kVA
指示計進行波電力・反射波電力・陽極電力
冷却方式電源部強制空冷
発振部強制空冷水冷
外形寸法
WxDxH(mm)
電源一体型
450x500x249
480x500x199480x550x199480x500x299480x600x409
発振部300x310x280340x270x270370x270x270
質量(kg)電源部一体型
40
25254068
発振部30202525

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