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マイクロ波電源・自動整合器他

4Eマイクロ波自動整合器

2450MHzマイクロ波用の導波管自動整合器です。
伝送線路と負荷のインピーダンス整合を高速・高感度に自動で整合を行います。
負荷状態をリアルタイムモニタして追従するため、負荷変動を伴うプラズマ負荷などの
自動整合に最適です。弊社独自の整合システムにより、従来の3スタブやEHチューナ
方式では不可能な負荷変動に対してシームレスな追従を実現しました。

特徴

  • 高耐電力
  • 高速自動整
  • 自然空冷のため冷却水等の引き回しが不要
  • 負荷VSWR10、全位相の範囲をシームレスに整合可能

主な仕様

形式AMC-0801
使用周波数2450±30MHz
定格電力最大5kW(CW)まで対応可能
負荷整合範囲VSWR 10以下(全位相)
整合時間反射波電力が定格電力の1%以下電源
整合精度反射波電力が定格電力の1%以下電
電源入力AC85V~225V 約75VA
整合部4Eチューナ方式

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