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マイクロ波電源・自動整合器他
2450MHzマイクロ波用の導波管自動整合器です。
伝送線路と負荷のインピーダンス整合を高速・高感度に自動で整合を行います。
負荷状態をリアルタイムモニタして追従するため、負荷変動を伴うプラズマ負荷などの
自動整合に最適です。弊社独自の整合システムにより、従来の3スタブやEHチューナ
方式では不可能な負荷変動に対してシームレスな追従を実現しました。
特徴
- ●高耐電力
- ●高速自動整
- ●自然空冷のため冷却水等の引き回しが不要
- ●負荷VSWR10、全位相の範囲をシームレスに整合可能
主な仕様
| 形式 | AMC-0801 |
|---|---|
| 使用周波数 | 2450±30MHz |
| 定格電力 | 最大5kW（CW）まで対応可能 |
| 負荷整合範囲 | VSWR 10以下(全位相) |
| 整合時間 | 2sec以内 |
| 整合精度 | 反射波電力が定格電力の1％以下 |
| 電源入力 | AC85V～225V 約75VA |
| 整合部 | 4Eチューナ方式 |
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